真空异常现象
真空泵送或低压，
1、首先确认厂房的真空气源正常(-95KPa以上)，压缩空气压力正常，(正常使用范围为0.4?0.6MPa)。
2、检查真空表是否正常，正常使用真空表，看参数是否正常?
3、检查门是否关闭，密封膜的门是否损坏，有变形，门被异物污染请仔细检查!
4、如果门没有问题，请检查管道，气动阀门，热电偶入口等位置的相应工作区域。通常在热电偶的入口处出现更多，因为如果有热电偶替换，经常会破坏真空密封性能，必须重新打AB胶来密封。
机械结构故障
1、门不紧，检查铰链门是否松动，扣是否变形，门密封损坏，门变形?
2、风扇异常声音，请仔细检查风扇内的风机是否有异物，或固定电机电机螺丝松动。
3、气动阀无法动作，首先检查对应的电磁阀是否能正常工作，压缩空气压力是否达到工作要求?如果气压正常，且电磁阀也良好，则肯定是气动阀本身坏了，必须更换新的
