真空炉一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。
密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。
为防止真空炉炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。
根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。
熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。
真空炉的真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
真空炉出现于20世纪30年代前后，1927年美国制成电工材料真空退火炉，1953年真空自耗电弧炉在工业中得到应用。
